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壓力傳感器mems設(shè)計和工藝流程

點擊量：2612 日期：2021-10-21 編輯：硅時代

　　MEMS壓力傳感器類型眾多，其中屬硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器應(yīng)用最為廣泛，技術(shù)最為成熟。
　　涉及的主要工藝流程包括：薄膜制備、刻蝕、鍵合、封裝。
　　運用到大量且復(fù)雜的mems設(shè)計工藝技術(shù)，有：薄膜制備技術(shù)、濺射技術(shù)、摻雜技術(shù)、刻蝕技術(shù)、鍵合技術(shù)、封裝技術(shù)等。

　　在實際操作中，工藝步驟設(shè)計應(yīng)該以簡單、高成本效益為原則，根據(jù)最終設(shè)計方案的差異，工藝流程也有不同。

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